بوته‌های لایه‌نشانی در طرح‌های مختلف از جنس تنگستن و مولیبدن

بوته‌های لایه‌نشانی

بوته‌ها یا فیلامان‌هایی که برای قرار دادن ماده منبع در فرآیند PVD استفاده می‌شوند معمولا از جنس تنگستن، مولیبدن، تانتالیوم، برونیترید و سرامیک و یا آلیاژهایی از این نوع مواد است. بوته‌ها بایستی نقطه ذوب بالایی داشته باشند و قابلیت حل شدن آن‌ها در ماده‌ی منبع به هنگام فرآیند PVD، پایین باشد تا با ماده منبع آلیاژ تشکیل ندهند. همچنین در برابر شوک‌های حرارتی مقاوم باشند و ماده منبع بتواند بوته را مرطوب یا به اصطلاح (Wet) کند. بعلاوه این بوته‌ها بایستی در برابر گازهای موجود در محیط دستگاه PVD غیرفعال باشند. بوته‌ها در شکل‌های مختلفی مانند ورق و سیم‌های پیچیده شده که در شکل زیر قابل مشاهده هستند، ساخته و برای لایه نشانی به روش PVD استفاده می‌شوند.

 

بوته ها- رویال پوشش پیشرو

روش کار این بوته‌ها به این شکل است که با اعمال و گذر جریان الکتریکی از بوته که در واقع یک نوع مقاومت الکتریکی است، دمای بوته افزایش می‌یابد و در نتیجه ماده منبع که در داخل آن قرار دارد و می‌تواند یک عنصر فلزی یا آلیاژ مخلوط یا ترکیبی باشد، را تبخیر کند و فرآیند لایه نشانی PVD انجام می‌شود.

برای تبخیر حرارتی موثر بایستی فشار بخار ماده منبع در دمایی که به فیلامان یا قایقک اعمال می شود، مقدار قابل قبولی بوده و بالاتر از فشار بخار بوته باشد. در فیلم زیر می‌توان فرآیند تبخیر ماده منبع در بوته را مشاهده کرد.

مشاهده فیلم

 بوته مولیبدنی Mo315A

بوته تنگستنی W313B

بوته مولیبدنی Mo310B بوته مولیبدنی Mo315B
بوته تنگستنی W215A بوته مولیبدنی Mo310C
بوته مولیبدنی Mo217C بوته تنگستنی سیمی جهت دستگاه های لایه نشانی تحت خلاء طرح ۱
بوته مولیبدنی Mo317C بوته تنگستنی سیمی جهت دستگاه های لایه نشانی تحت خلاء طرح ۲ 
بوته تنگستنی W317C بوته تنگستنی سیمی جهت دستگاه های لایه نشانی تحت خلاء طرح ۳
بوته تنگستنی W215B بوته تنگستنی سیمی جهت دستگاه های لایه نشانی تحت خلاء طرح ۴
بوته تنگستنی W215B

 

بوته تنگستنی سیمی جهت دستگاه های لایه نشانی تحت خلاء طرح ۵
بوته تنگستنی W210B بوته تنگستنی سیمی جهت دستگاه های لایه نشانی تحت خلاء طرح ۶
بوته تنگستنی W120B

 

بوته تنگستنی سیمی جهت دستگاه های لایه نشانی تحت خلاء طرح ۷
بوته تنگستنی W213B

 

بوته تنگستنی سیمی جهت دستگاه های لایه نشانی تحت خلاء 
بوته مولیبنی باکسی Box Boat