خدمات تبخیر حرارتی

روش تبخیر حرارتی(pvd):
با استفاده از جریان مستقیم Thermal evaporation

در این روش از یک المنت (بوته) با مقاومت الکتریکی به عنوان بستر ماده هدف استفاده می شود. با عبور جریان الکتریکی از آن دما به شدت بالا رفته و منجر به ذوب شدن و بخارشدن ماده هدف می شود. با توجه به اینکه محیط لایه نشانی خلا می باشد ذرات بخار مستقیما و بدون هیچ برخوردی مسیر خودرا طی کرده و به سطح زیرلایه برخورد میکنند.

  •  چنانچه نیازمند پوشش دهی با این روش هستید و یا نیاز به مشاوره در این خصوص دارید با ما تماس بگیرید.

 

روش تبخیر حرارتی با استفاده از باریکه الکترونی:
Electron beam evaporation

با استفاده از یک تفنگ الکترونی یک پرتو الکترونی با انرژی زیاد ایجاد می شود که پس از برخورد به سطح ماده و ایجاد یک لکه داغ بر روی ماده آن را به بخار تبدیل کند. در لایه نشانی موادی مانند Si که با منبع حرارتی (بوته ایی که در ان قرار دارد) به شدت واکنش می دهد، استفاده از این روش مناسبتر می باشد. همچنین با توجه به اینکه در این روش ماده به صورت مستقیم حرارت داده می شود، و بوته می تواند سرد شود، احتمال بلند شدن آلودگی و ایجاد ناخالصی در لایه مورد نظر بسیار کم می باشد. با استفاده از این روش می توان به نرخ لایه نشانی بالایی دست یافت. لایه نشانی فلزات دیرگداز مانند مولیبدن، تانتالیوم، تنگستن و .. را با این روش می توان انجام داد. پودر (یا به طور کلی تارگت) در داخل بوته های گرافیتی قرار می گیرد.در تصویر زیر انواع بوته های مورد استفاده در روش لایه نشانی تبخیر حرارتی  ملاحظه می شود.

  • چنانچه نیازمند پوشش دهی با این روش ها هستید و یا نیاز به مشاوره در این خصوص دارید با ما تماس بگیرید.

 انواع مختلف این بوته ها را میتوانید در قسمت فروشگاه تهیه فرمایید.